微機電打印芯片制造
微機電打印芯片是在日本Nagano縣的愛普生SuWaMiMai工廠制造的。三個硅芯片-一個TFP執(zhí)行器，一個墨水通道，和一個噴嘴板-粘合在一起。通過TFP致動器的泵作用，通過墨通道的墨流路徑進入的墨從噴嘴排出。它的創(chuàng)新薄膜壓電技術(shù)被用來生產(chǎn)TFP致動器，其創(chuàng)新的MEMS技術(shù)被用來制造芯片組件。
1：ThinFilm Piezo（TFP）技術(shù)
TFP致動器是在硅襯底上形成的非常薄的壓電元件。壓電元件在施加電壓時收縮。這一運動提供了驅(qū)動墨水從噴嘴板流入墨水流動路徑的動力。
薄膜壓電技術(shù)被用來在硅晶片上均勻地形成壓電元件，一微米厚的薄膜。采用自己的結(jié)晶工藝燒結(jié)，形成具有一致取向的優(yōu)質(zhì)陶瓷晶體。
這些TFP致動器提供了非常精確的控制液滴大小和放置和驚人準確的打印。這是因為它們的均勻晶體結(jié)構(gòu)意味著當它們收縮時，它們保持均勻的位移，并且由于壓電薄膜的極端薄允許更大的收縮，因此有更大的位移。
愛普生自己制造壓電元件的材料。還自主開發(fā)了用于合成材料的化學(xué)反應(yīng)過程以及合成設(shè)備。獲得最佳壓電材料以滿足壓電元件的性能要求對他來說是一個巨大的優(yōu)勢。
2：微機電系統(tǒng)科技
高精度，三維亞微米光刻是愛普生MEMS工藝強度的源泉。在普通的半導(dǎo)體制造中，平面加工所需的尺寸精度很高，但是厚度所要求的精度并不是那么高。在光刻工序中使用的工業(yè)設(shè)備通常有百分之幾的變化，但能夠?qū)⑦@種變化限制在從五分之一到十分之一的范圍內(nèi)。
這種精度超過傳統(tǒng)系統(tǒng)，是業(yè)內(nèi)最好的。正是這使得我們能夠形成極其精細復(fù)雜的TFP致動器、墨水通道和噴嘴板。這些都提供了對噴墨墨水體積的微微級控制和在媒體上放置點的非常精確。
在光敏樹脂上產(chǎn)生的熱頭噴嘴只長約幾微米。相比之下，在硅片上生產(chǎn)的MicroTFP印刷芯片中的噴嘴可以是長度的10倍以上，并且這個更大的噴嘴長度轉(zhuǎn)化成更精確的墨滴位置。
